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NF3是一種優(yōu)良的蝕刻氣體。HF、F2均可用于制備NF3，F(xiàn)2制備NF3的反應為：4NH3+3F2
C
u
NF3+3NH4F。下列說法正確的是（　?。?/h1>

【答案】D
【解答】
【點評】
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發(fā)布：2024/4/20 14:35:0組卷：16引用：1難度：0.3
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