NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,可通過(guò)電解熔融氟化氫銨(NH4HF2)制得。下列有關(guān)說(shuō)法錯(cuò)誤的是( ?。?/h1>
【考點(diǎn)】原子軌道雜化方式及雜化類型判斷.
【答案】A
【解答】
【點(diǎn)評(píng)】
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發(fā)布:2024/6/6 8:0:9組卷:53引用:3難度:0.6
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