中國(guó)芯片蝕刻技術(shù)國(guó)際領(lǐng)先,NF3進(jìn)行硅芯片蝕刻時(shí)的產(chǎn)物均為氣體,在蝕刻物表面不留任何殘留物,該反應(yīng)的微觀示意圖如圖所示,下列說(shuō)法不正確的是( ?。?br />?
【答案】D
【解答】
【點(diǎn)評(píng)】
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發(fā)布:2024/8/15 0:0:1組卷:22引用:1難度:0.5
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