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如圖所示,離子加速后沿水平方向進(jìn)入速度選擇器,然后通過磁分析器,選擇出特定比荷的離子;經(jīng)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)后到達(dá)水平面。圖中勻強磁場的磁感應(yīng)強度大小均為B,方向垂直于紙面向外;勻強電場的電場強度大小均為E。磁分析器截面四分之一圓弧的半徑分別為L和3L,M和N為兩端中心小孔;偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)中電場分布在棱長為L的正方體內(nèi),底面與水平面平行且間距為L。當(dāng)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)不加垂直紙面向外的電場時,質(zhì)量為m的離子恰好豎直到達(dá)水平面內(nèi)的O點(x軸正方向垂直紙面向外,y軸正方向水平向左)。整個系統(tǒng)置于真空中,不計離子重力及離子間的相互作用。求:
(1)通過磁分析器的離子電性及比荷;
(2)離子通過正方體底面到達(dá)水平面的位置坐標(biāo)。
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發(fā)布:2024/6/27 10:35:59組卷:42引用:1難度:0.5
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    3
    L
    3
    。UAB=0,I=0時,離子恰好打到晶圓的(0,0)點。
    (1)當(dāng)I=0,UAB=U1時,離子恰好能打到(0,-R)點,求U1的值。
    (2)當(dāng)UAB=0,I=I1時,離子能打到點(R,0),求I1的值。
    (3)試導(dǎo)出離子打到晶圓上位置(x,y)與UAB和I的關(guān)系式。(提示:tanθ=
    2
    tan
    θ
    2
    1
    -
    tan
    2
    θ
    2

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